扫描电镜(SEM)全称扫描电子显微镜,它是利用扫描电子显微镜(SEM)对样品进行微观形貌、成分和结构信息的检测和分析。SEM通过高能电子束扫描样品表面,收集并放大电子与样品相互作用产生的各种信号,从而生成高分辨率的图像,并可以进行成分分析。
扫描电镜检测方法及标准解读
扫描电镜检测方法
(1)纳米材料:SEM可用于观察纳米材料的结构、颗粒尺寸、分布、均匀度及团聚情况,结合能谱还可以对纳米材料的微区成分进行分析,确定材料的组成。
(2)高分子材料:SEM可以揭示高分子材料的表面形态和内部结构,观察高分子材料的老化、疲劳、拉伸及扭转过程中的断口断裂与扩散情况。
(3)金属材料:SEM可以分析金属材料的微观组织、断裂模式和表面磨损、腐蚀和形变情况;还可以分析钢铁产品的质量和缺陷(如气泡、显微裂纹、显微缩孔等);结合能谱可确定金属与合金各元素的偏析情况,观察物相并进行成分识别。
(4)陶瓷材料:SEM可用于观察陶瓷材料的显微结构和孔隙分布,分析陶瓷材料的原料、成品的显微结构及缺陷,包括晶相、晶体大小、杂质、气孔等
扫描电镜检测标准
GB/T16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则
GB/T17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
GB/T17722-1999 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法
GB/T20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
GB/T25189-2010 微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
GB/T27788-2020 微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则
GB/T30834-2022 钢中非金属夹杂物的评定和统计扫描电镜法
GB/T31563-2015 金属覆盖层厚度测量扫描电镜法
GB/T35097-2018 微束分析扫描电镜-能谱法环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定
GB/T35099-2018 微束分析扫描电镜-能谱法大气细粒子单颗粒形貌与元素分析
扫描电镜检测方法及标准解读